為方便客戶，維開科技可為各科研院所和生產企業提供訂制化金屬、合金和陶瓷靶材及蒸發材料，并可提供靶材的綁定和成份檢測服務。

§ 維開可提供的主要靶材類型

§ 氧化鋅基靶材，純度3N5/4N，單片尺寸300×150×30mm，可進行復合摻雜（B、Zr、Nb、Y、Yb、Ti、Ga、V、Cr等）

§ Al:ZnO靶材，純度3N5，單片尺寸最大300×100×10mm，晶粒尺寸：＜20μm

§ NiCr靶材，純度2N7/3N/3N5，平面靶，牌號：80/20,70/30, 60/40

§ CdS靶材，純度3N5, 4N，平面靶

§ ITO靶材，純度4N/4N5，平面靶/旋轉靶，成份：90:10\95:5

§ Mo靶材，純度3N5，平面靶/旋轉靶，致密度：＞99%

§ 高純Cr靶材，純度2N5/3N5，平面靶/旋轉靶，致密度＞99%

§ Ti靶材，純度2N7/2N8/3N5，平面靶/旋轉靶，致密度＞99%

§ 維開可提供的綁定服務

§ 背板材質：無氧銅背板/鉬（Mo）背板/鋁（Al）背板/鈦（Ti）背板

§ 背面金屬化：金屬/合金/陶瓷靶材的背面金屬化

§ 銦綁定：金屬/合金/陶瓷靶材與背板的銦綁定

§ 導電膠粘接：金屬/合金/陶瓷靶材與背板的導電膠粘接綁定

　　　焊合率＞95%。

　如需詳細信息，敬請　聯系我們