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為方便客戶,維開科技可為各科研院所和生產企業提供訂制化金屬、合金和陶瓷靶材及蒸發材料,并可提供靶材的綁定和成份檢測服務。
§ 維開可提供的主要靶材類型 § 氧化鋅基靶材,純度3N5/4N,單片尺寸300×150×30mm,可進行復合摻雜(B、Zr、Nb、Y、Yb、Ti、Ga、V、Cr等) § Al:ZnO靶材,純度3N5,單片尺寸最大300×100×10mm,晶粒尺寸:<20μm § NiCr靶材,純度2N7/3N/3N5,平面靶,牌號:80/20,70/30, 60/40 § CdS靶材,純度3N5, 4N,平面靶 § ITO靶材,純度4N/4N5,平面靶/旋轉靶,成份:90:10\95:5 § Mo靶材,純度3N5,平面靶/旋轉靶,致密度:>99% § 高純Cr靶材,純度2N5/3N5,平面靶/旋轉靶,致密度>99% § Ti靶材,純度2N7/2N8/3N5,平面靶/旋轉靶,致密度>99%
§ 維開可提供的綁定服務 § 背板材質:無氧銅背板/鉬(Mo)背板/鋁(Al)背板/鈦(Ti)背板 § 背面金屬化:金屬/合金/陶瓷靶材的背面金屬化 § 銦綁定:金屬/合金/陶瓷靶材與背板的銦綁定 § 導電膠粘接:金屬/合金/陶瓷靶材與背板的導電膠粘接綁定 焊合率>95%。
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