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EP100皮爾斯電子槍系統

EP100是一款通用型皮爾斯電子槍蒸發系統,穩定可靠,維護簡單,可以滿足批量生產和研究開發的各類需求。


§ 真空工藝腔:1個不銹鋼腔室

§ 真空進樣室:1套獨立手動樣品進樣腔室

§ 電子槍數量:可并聯3至4套電子槍

§ 燈絲電流:120安培

§ 電子束流:3安培

§ 鍍膜區域: ?500mm

§ 鍍膜均勻性:±5%

§ 極限真空度:5E-4Pa

§ 工件盤控溫:1200

§ 抽氣系統:擴散泵+機械泵

§ 真空檢測:全量程真空規

§ 流量控制:數字式質量流量計

§ 占地面積:3.0m(長)*1.5m(寬)*2.5m(高)


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