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EP100是一款通用型皮爾斯電子槍蒸發系統,穩定可靠,維護簡單,可以滿足批量生產和研究開發的各類需求。 § 真空工藝腔:1個不銹鋼腔室 § 真空進樣室:1套獨立手動樣品進樣腔室 § 電子槍數量:可并聯3至4套電子槍 § 燈絲電流:120安培 § 電子束流:3安培 § 鍍膜區域: ?500mm § 鍍膜均勻性:±5% § 極限真空度:5E-4Pa § 工件盤控溫:1200℃ § 抽氣系統:擴散泵+機械泵 § 真空檢測:全量程真空規 § 流量控制:數字式質量流量計 § 占地面積:3.0m(長)*1.5m(寬)*2.5m(高)
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