EP100是一款通用型皮爾斯電子槍蒸發系統，穩定可靠，維護簡單，可以滿足批量生產和研究開發的各類需求。

§ 真空工藝腔：1個不銹鋼腔室

§ 真空進樣室：1套獨立手動樣品進樣腔室

§ 電子槍數量：可并聯3至4套電子槍

§ 燈絲電流：120安培

§ 電子束流：3安培

§ 鍍膜區域： ?500mm

§ 鍍膜均勻性：±5%

§ 極限真空度：5E-4Pa

§ 工件盤控溫：1200℃

§ 抽氣系統：擴散泵+機械泵

§ 真空檢測：全量程真空規

§ 流量控制：數字式質量流量計

§ 占地面積：3.0m（長）*1.5m（寬）*2.5m（高）

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