C500T是維開科技開發的一款實驗型多腔室超高真空集成系統，功能強大，可擴展性強，穩定可靠，可以滿足材料科學研究的各種特殊工藝需求。

§ 真空工藝腔：5個獨立小型工藝腔室

§ 真空進樣室：手動獨立樣品進樣機構

§ 工藝條件：磁控濺射/刻蝕/離子束/蒸發/ALD/MBE可選

§ 均勻鍍膜區： ?50mm

§ 均勻刻蝕區： ?25mm

§ 極限真空度：1E-7Pa

§ 工件盤控溫： -50℃至1200℃

§ 檢測條件：集成AES/XPS/光譜儀等系統

§ 離子源：可選配

§ 抽氣系統：離子泵+磁懸浮分子泵+干式機械泵

§ 真空檢測：UHV真空規+薄膜真空規

§ 流量控制：數字式質量流量計

§ 占地面積：根據需求訂制

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