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C500T是維開科技開發的一款實驗型多腔室超高真空集成系統,功能強大,可擴展性強,穩定可靠,可以滿足材料科學研究的各種特殊工藝需求。 § 真空工藝腔:5個獨立小型工藝腔室 § 真空進樣室:手動獨立樣品進樣機構 § 工藝條件:磁控濺射/刻蝕/離子束/蒸發/ALD/MBE可選 § 均勻鍍膜區: ?50mm § 均勻刻蝕區: ?25mm § 極限真空度:1E-7Pa § 工件盤控溫: -50℃至1200℃ § 檢測條件:集成AES/XPS/光譜儀等系統 § 離子源:可選配 § 抽氣系統:離子泵+磁懸浮分子泵+干式機械泵 § 真空檢測:UHV真空規+薄膜真空規 § 流量控制:數字式質量流量計 § 占地面積:根據需求訂制
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