北京維開科技有限公司 Beijing Vikaitech Ltd.

品質 誠信 創新

C500 生產型多腔室系統

C500是維開科技開發的一款生產型多腔室集成系統,功能強大,可擴展性強,穩定可靠,自動化控制程度高,可以滿足半導體級別的批量生產需求。


§ 真空工藝腔:6個獨立工藝腔室

§ 真空進樣室:2個獨立樣品進樣腔室

§ 工藝條件:磁控濺射/刻蝕/離子束/蒸發可選

§ 均勻鍍膜區: ?300mm

§ 均勻刻蝕區: ?250mm

§ 鍍膜/刻蝕均勻性:±5%

§ 極限真空度:1E-5Pa

§ 工件盤控溫: -50℃至800

§ 自動進樣室:集成BROOKS系統

§ 離子源:可選配直流/射頻離子源

§ 抽氣系統:低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機械泵/普通機械泵

§ 真空檢測:全量程真空規+薄膜真空規

§ 流量控制:數字式質量流量計

§ 占地面積:3.5m(長)*3.5m(寬)*1.7m(高)


 如需詳細信息,敬請 聯系我們


北京維開科技有限公司
Beijing Vikaitech Ltd.

電話:13811935627
座機:010-60400380
網址:www.myonlineessaywriter.com
郵箱:sales@vikaitech.com
地址:北京市順義區彩園路6號5棟
郵編:101300

京公網安備 11011302002087號