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T550I (Indium)專用電阻蒸發系統

T550I是維開科技為高質量的銦柱沉積工藝開發的一款專用電阻蒸發系統,功能強大,穩定可靠,自動化控制程度高,維護簡單,可以滿足專業的銦柱沉積工藝需求。


§ 不銹鋼真空腔:550mm(寬)*950mm(高)

§ 均勻可鍍區:最大?200mm

§ 鍍膜均勻性:±3%

§ 極限真空度:1E-5Pa

§ 電阻源功率:最大8千瓦

§ 坩堝數量:最多2

§ 離子源:可選配

§ 膜厚監控:晶振控制器

§ 抽氣系統:低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機械泵/普通機械泵

§ 真空檢測:全量程真空規

§ 占地面積:1.5m(長)*1.5m(寬)*2.2m(高)


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