北京維開科技有限公司 Beijing Vikaitech Ltd.

品質 誠信 創新

E550 通用型電子束蒸發系統

E550是維開科技開發的一款通用型電子束蒸發系統,功能強大,穩定可靠,自動化控制程度高,維護簡單,可以滿足中小批量生產需求和實驗平臺的一般性需求。


§ 不銹鋼真空腔:550mm(寬)*800mm(高)

§ 均勻可鍍區:最大5*?150mm

§ 鍍膜均勻性:±2%

§ 極限真空度:1E-5Pa

§ 工件盤控溫:室溫至350

§ 電子槍功率:最大10千瓦

§ 坩堝數量:最多8

§ 電阻蒸發源:可選配

§ 離子源:直流/射頻

§ 膜厚監控:晶振控制器

§ 掛具類型:穹頂式/行星式/平盤/克努曾/自動翻轉

§ 抽氣系統:低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機械泵/普通機械泵

§ 真空檢測:全量程真空規

§ 占地面積:1.5m(長)*1.5m(寬)*2.2m(高)


 如需詳細信息,敬請 聯系我們


北京維開科技有限公司
Beijing Vikaitech Ltd.

電話:13811935627
座機:010-60400380
網址:www.myonlineessaywriter.com
郵箱:sales@vikaitech.com
地址:北京市順義區彩園路6號5棟
郵編:101300

京公網安備 11011302002087號