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E550是維開科技開發的一款通用型電子束蒸發系統,功能強大,穩定可靠,自動化控制程度高,維護簡單,可以滿足中小批量生產需求和實驗平臺的一般性需求。 § 不銹鋼真空腔:550mm(寬)*800mm(高) § 均勻可鍍區:最大5*?150mm § 鍍膜均勻性:±2% § 極限真空度:1E-5Pa § 工件盤控溫:室溫至350℃ § 電子槍功率:最大10千瓦 § 坩堝數量:最多8個 § 電阻蒸發源:可選配 § 離子源:直流/射頻 § 膜厚監控:晶振控制器 § 掛具類型:穹頂式/行星式/平盤/克努曾/自動翻轉 § 抽氣系統:低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機械泵/普通機械泵 § 真空檢測:全量程真空規 § 占地面積:1.5m(長)*1.5m(寬)*2.2m(高)
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