E360 是維開科技開發的一款緊湊型電子束蒸發系統，占地面積小，功能強大，自動化控制程度高，維護簡單，可以滿足實驗室級別的應用和一般的小批量生產需求。

§ 不銹鋼真空腔：350mm（寬）*600mm（高）

§ 均勻可鍍區：最大?200mm

§ 鍍膜均勻性：±2%

§ 極限真空度：1E-5Pa

§ 工件盤控溫： -50℃至800℃

§ 電子槍功率：最大10千瓦

§ 坩堝數量：最多6個

§ 電阻蒸發源：可選配

§ 膜厚監控：晶振控制器

§ 掛具類型：穹頂式/行星式/平盤/克努曾

§ 抽氣系統：低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機械泵/普通機械泵

§ 工件角度：-45°至+45°可調

§ 真空檢測：全量程真空規

§ 占地面積：1.2m（長）*1.3m（寬）*2.1m（高）

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