北京維開科技有限公司 Beijing Vikaitech Ltd.

品質 誠信 創新

M1100 生產型磁控濺射系統

M1100 是維開科技開發的一款大尺寸生產型磁控濺射系統,功能強大,穩定可靠,自動化控制程度高,維護簡單,可以滿足大尺寸樣品或大批量生產需求和實驗平臺的特殊需求。


§ 不銹鋼真空腔:1100mm(寬)*750mm(高)

§ 均勻可鍍區:最大?900mm

§ 鍍膜均勻性:±2%

§ 極限真空度:1E-5Pa

§ 工件盤控溫: 室溫300

§ 偏壓:射頻/脈沖直流

§ 濺射靶槍:最多5

§ 濺射電源:直流/射頻/脈沖直流,可自由切換

§ 離子源:可選配直流/射頻離子源

§ 抽氣系統:低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機械泵/普通機械泵

§ 真空檢測:全量程真空規+薄膜真空規

§ 流量控制:數字式質量流量計

§ 占地面積:2.5m(長)*2.8m(寬)*2.8m(高)



 如需詳細信息,敬請 聯系我們


北京維開科技有限公司
Beijing Vikaitech Ltd.

電話:13811935627
座機:010-60400380
網址:www.myonlineessaywriter.com
郵箱:sales@vikaitech.com
地址:北京市順義區彩園路6號5棟
郵編:101300

京公網安備 11011302002087號