原理：

　　電阻蒸發是在真空條件下利用大電流通過蒸發舟加熱所需要蒸發的材料，使其在高溫下融化蒸發或升華，氣化的材料向基板輸運，在基底上凝結形成薄膜的方法。通過調節所加電流的大小，可以方便的控制鍍膜材料的蒸發速率。通常適合熔點低于1500℃的金屬薄膜的制備。

優勢：

• 操作簡單，設備購置成本低；

• 可定制各類專用蒸發舟，適于多種特殊材料的蒸發；

• 蒸發源體積小，可在同一個爐腔內配置多達10個蒸發源；

• 蒸發速率快，可實現批量生產；

• 適合搭配晶振控制器，精確控制薄膜生長。

用途：

　　主要應用在半導體、微電子、裝飾、紅外、生物、能源等領域。

我們的電阻系統：

　　維開可以為不同領域的客戶提供多種電阻蒸發產品，可以選配各種蒸發舟，適合銦(Indium)、硫化鋅(ZnS)、有機物蒸發工藝，還可以選配離子源實現離子束輔助沉積。