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![]() 原理: 電阻蒸發是在真空條件下利用大電流通過蒸發舟加熱所需要蒸發的材料,使其在高溫下融化蒸發或升華,氣化的材料向基板輸運,在基底上凝結形成薄膜的方法。通過調節所加電流的大小,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發速率。通常適合熔點低于1500℃的金屬薄膜的制備。 優勢:
用途: 主要應用在半導體、微電子、裝飾、紅外、生物、能源等領域。 我們的電阻系統: 維開可以為不同領域的客戶提供多種電阻蒸發產品,可以選配各種蒸發舟,適合銦(Indium)、硫化鋅(ZnS)、有機物蒸發工藝,還可以選配離子源實現離子束輔助沉積。
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